檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "鄧昭瑞".ccommittee (精準) and year="109"
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本研究提出一套共面偵測分束器式光柵干涉儀，此套干涉儀採用「雙繞射式」的光路設計進行系統開發，透過光柵與反射鏡的搭配使通過光柵後的繞射光束再次穿過光柵形成二次繞射，用以引進加倍的的相位變化量，可有效提…
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本研究提出一套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」，用以進行四自由度精密位移及旋轉角度量測。此套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」採獨特的自混分頻多工概念進行設計，僅需一組電光調制器及半穿半反射鏡即可形成…
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靜力平衡機構係指一個或多個自由度的機構，可在任意姿態下維持機構本身所內涵的能量，使負載可以停在空間中的任意位置。在許多民生用品上，例如檯燈、手機架等，都是使用靜力平衡機構的產品；但如果負載的重量改變…
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近年來各類型的雷射干涉儀已被廣泛地應用在眾多的科學研究及工程領域中，藉由提供精準的位移或旋轉角度的量測資訊使定位系統或載具能維持高精度的定位性能，以期能準確完成製造程序、元件對位、幾何誤差量測與系統…
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」，用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…